Arasındaki temel farklarsilikon nitrür substratıve substrat bunların tanımları, kullanımları ve özellikleridir.
Silikon nitrür substrat:Silikon nitrür substratıesas olarak güç yarı iletken cihazlarının, özellikle güç modüllerinin imalatında kullanılan seramik bir malzemedir. Yüksek termal iletkenliğe, yüksek mekanik dayanıklılığa ve iyi termal eşleşmeye sahiptir ve yüksek güvenilirlik ve yüksek sıcaklık direnci gerektiren uygulama senaryoları için uygundur. Alt Tabaka: Substrat genellikle çip üretimi için kullanılan temel destek yapısını ifade eder. Yaygın substrat malzemeleri arasında tek kristal silikon levhalar, SOI substratları, SiGe substratları vb. bulunur. Substrat seçimi, entegre devreler, mikroişlemciler, bellek vb. gibi özel uygulama gereksinimlerine bağlıdır.
Yüksek termal iletkenlik: Silisyum nitrürün termal iletkenliği 80 W/m·K kadar yüksektir ve bu, yüksek güçlü cihazların ısı dağıtma ihtiyaçları için uygundur. Yüksek mekanik mukavemet: Yüksek bükülme mukavemetine ve yüksek kırılma tokluğuna sahiptir, bu da yüksek güvenilirliği sağlar. Termal genleşme katsayısı uyumu: SiC kristal alt katmana oldukça benzer olup ikisi arasında istikrarlı bir eşleşme sağlar ve genel güvenilirliği artırır.
Substrat
Çeşitli tipler: Tek kristal silikon levhalar, SOI substratları, SiGe substratları vb. dahil olmak üzere her substrat malzemesinin kendine özel uygulama alanı ve performans avantajları vardır.
Geniş kullanım alanı : Entegre devreler, mikroişlemciler, bellek vb. gibi farklı türde çip ve cihazların üretiminde kullanılır.
Silikon nitrür substrat: Temel olarak yeni enerji araçları ve modern ulaşım yolları gibi alanlardaki yüksek güçlü cihazlar için kullanılır. Mükemmel ısı dağıtma performansı, mekanik mukavemeti ve kararlılığı nedeniyle karmaşık ortamlardaki yüksek güvenilirlik gereksinimlerine uygundur.
Alt Tabaka : Çeşitli talaş imalatında yaygın olarak kullanılır ve spesifik uygulama, alt tabakanın türüne bağlıdır. Örneğin, tek kristal silikon plakalar entegre devrelerin ve mikroişlemcilerin üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır; SOI substratları yüksek performanslı, düşük güçlü entegre devreler için uygundur ve SiGe substratları heteroeklemli bipolar transistörler ve karışık sinyal devreleri vb. için kullanılır.